Centro de Nanociencias y Micro y Nanotecnologías

Esta técnica de depósito por capas atómicas está dedicada al crecimiento de películas dieléctricas de alta-k. Se cuenta con los precursores de agua y TMA para el crecimiento de películas delgadas (15-30 nm) de óxido de aluminio (Al2O3) a temperaturas de 100 y 150 °C. El área de los sustratos es de hasta 5 pulgadas de diámetro.

Se cuenta con la evaporación por haz de electrones (e-beam) con un carrusel con capacidad de 4 crisoles de 25cc. Metales disponibles: cromo, titanio, cobre y oro. También tiene la opción de configurarlo como evaporador resistivo utilizando un filamento de tungsteno para la evaporación de aluminio. Los depósitos con este equipo son compatibles con el proceso de lift-off. El área de los sustratos es de hasta 4 pulgadas de diámetro.

Depósito de resinas positivas o negativas para el proceso de fotolitografía. Es un Spinner programable con velocidades en el rango de 1000 a 7000rpm. El área permitida de los sustratos es desde 1 hasta 4 pulgadas de diámetro. Contamos con resinas S1813, PMMA y SU-8.

Sistema de alineación de mascarillas para procesos de fotolitografía de doble cara (top and bottom alignment) con resolución máxima de 1um, así como procesos de litografía por Nanoimpresión o NIL (Nanoimprint Lithography) donde se pueden alcanzar resoluciones por debajo de los 100nm. El área de los sustratos es de 2 hasta 4 pulgadas de diámetro. El área de las máscaras es de 4 y 5 pulgadas de diámetro.

Campana de extracción para el proceso de fotolitografía contamos con revelador MF319, 351 Developer, SU-8 Developer y Remover 1165. Se cuenta con parrilla de calentamiento de hasta 300°C, pistola de nitrógeno y agua desionizada (18 MOhm).

Campana de extracción para limpieza con acetona, alcohol isopropílico y metanol. Se cuenta con baño ultrasónico, pistola de nitrógeno y agua desionizada (18 MOhm).

Medición de espesores y perfiles superficiales de películas delgadas con rango en nanómetros y micrómetros.

Medición de resistencia de hoja por el método de las 4 puntas. Las 4 puntas son modelo SP4, tienen un radio de 0.005 pulgadas, están separadas por una distancia 0.050 pulgadas, aplican una presión de 85 gramos y son de carburo de tungsteno. La medición se realiza con un equipo Keithley 2450.

La microbalanza de cristal de cuarzo (QCM-D) es una técnica sensible a la superficie en tiempo real para analizar los fenómenos de interacción de la superficie, la formación de películas delgadas y las propiedades de las capas.

El LightCycler ® 2.0 permite controlar la amplificación de 32 productos de PCR de forma simultánea, en tiempo real y en línea. La amplificación se produce en capilares de reacción especialmente diseñados, cuya relación superficie-volumen proporciona una transferencia térmica extremadamente rápida, lo que facilita los ciclos térmicos de alta velocidad, permitiendo realizar un ciclo completo de 35 ciclos en tan solo 30 minutos (con capilares de 20 µl) a 60 minutos (con capilares de 100 µl).